Милешко Леонид Петрович родился 29 августа 1949 года в МТС Молчановского района Томской области. В 1966 году окончил с золотой медалью Краснодесантскую среднюю школу Неклиновского района Ростовской области. В 1971 году окончил Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ) по специальности «Электронные приборы». В 1969-1971 гг. работал квалифицированным рабочим ОКБ ТРТИ, лаборантом, техником НИР твердых схем, инженером НИСа ТРТИ.
В 1971-1972 гг. служил в Советской Армии в Качинском высшем военном авиационном училище летчиков. В 1972-1977 гг. работал старшим инженером ОКБ ТРТИ. С 1977 по 1980 год обучался в аспирантуре на кафедре «Физико-химические основы технологии микроэлектроники» Московского института электронной техники.
В 1981г. защитил кандидатскую диссертацию на тему «Исследование и разработка технологических процессов диффузии фосфора и бора в кремний из электролитических анодных окисных пленок» по специальности 05.17.16 – технология полупроводников и материалов электронной техники. Научные руководители: д.т.н., профессор, заслуженный деятель науки и техники РСФСР Ю.Д. Чистяков и д.т.н., профессор, заслуженный деятель науки РФ И.Н. Сорокин.
С 1981 по 1982 год работал ведущим конструктором ОКБ ТРТИ.
В 1982-1983 гг. работал старшим научным сотрудником Таганрогского НИИ связи.
С 1983 по по 1985 гг. работал ассистентом, а с 1985 по 1988 г. - доцентом кафедры технологии радиоэлектронной аппаратуры ТРТИ. В 1988 году поступил в докторантуру на кафедру микроэлектроники Минского радиотехнического института по научному направлению «Разработка эффективных технологических процессов в области микроэлектроники». Научный консультант д.т.н., профессор, академик НАН Беларуси В.А. Лабунов. Окончил докторантуру в 1991 году с представлением диссертации на кафедре.
В 1991-1997 гг. работал доцентом кафедры микроэлектроники и технологии больших интегральных схем ТРТИ.
В 1997 году работал доцентом кафедры экологии ТРТИ. С января по июнь 1998 года – доцент кафедры «Психологии и безопасности жизнедеятельности». С июля 1988 по 2000 год – доцент кафедры химии ТРТИ. С 2000 года по сентябрь 2011 г. – доцент, а с октября 2011 г. - профессор кафедры химии и экологии факультета естественнонаучного и гуманитарного образования Южного федерального университета. В 2010 году защитил докторскую диссертацию по специальности 05.27.01 -твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах на тему: «Разработка и исследование технологических основ формирования легированных анодных пленок диоксида кремния». Научный консультант д.т.н., профессор А.Н. Королев.
Список научных трудов включает 190 публикаций. Среди них три монографии, 78 статей, 8 авторских свидетельств СССР и 18 учебно-методических работ.
Индексы Хирша в РИНЦ и Scopus равны 8 и 3 соответственно.
Имеет опыт преподавания следующих учебных дисциплин:
«Физико-химические процессы в технологии радиоэлектронной аппаратуры», «Технология микросхем и микропроцессоров», «Физическая химия и кристаллохимия полупроводников», «Физико-химические основы конструирования и технологии электронных средств», «Методы и устройства испытаний электронно-вычислительных средств», «Безопасность жизнедеятельности», «Концепции современной безопасности», «Безопасность технологических процессов и производств», «Химия», «Основы технологии нанесения декоративных покрытий», «Экологический менеджмент», «Экологическое право», «Основы промышленной экологии», «Экология», «Основы инженерии в приборостроении, методы изобретательской деятельности».
Награжден нагрудными знаками «Изобретатель СССР» и«За заслуги перед университетом».
Область научных интересов: физико-химические основы и экологическая безопасность микро- и наноэлектронных технологий.
Научные публикации:
Список наиболее значимых научных трудов
1. Милешко Л.П., Королев А.Н. Электроника анодных оксидных пленок кремния и его соединений, формируемых в легирующих электролитах. – Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2009. – 186 с.
2. Светличная Л.А., Милешко Л.П., Королев А.Н. Анодный оксид меди (1) как материал для сенсоров газов. – Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2010. – 122 с.
3. Плуготаренко Н.К., Петров В.В., Гапоненко Н.В., Милешко Л.П. Поверхностные свойства пленок нанокомпозитных материалов. Таганрог: Изд-во ЮФУ, 2012. – 100 с.
5. Королев А.Н., Гапоненко Н.В., Милешко Л.П., Светличная Л.А. Физико-химические основы процессов формирования легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления. Таганрог: Изд-воТТИЮФУ, 2012. – 160 с.
6. Mileshko L.P. Doped Anodic Oxide Films Obtained on Silicon and Silicon Compounds: Preparation, Properties, and Application // Inorganic Materials. – 2009. – Vol. 45. – No.13. - PP.1494-1510.
7. Чистяков Ю.Д., Бредихин И.С., Милешко Л.П. Анодные окисные пленки кремния как твердый диффузант в планарной технологии // Зарубежная электронная техника. – М.:ЦНИИ «Электроника». – 1976. – №1(134). – С. 3-38.
8. Милешко Л.П., Сорокин И.Н., Чистяков Ю.Д. Электролитическое формирование легированных оксидных плёнок на вращающихся кремниевых подложках // Электронная техника. Сер. 3 . Микроэлектроника. – 1979. - Вып. 5(83). – С. 99-102.
9.Милешко Л.П., Гапоненко Н.В. Коллоидно-химические закономерности формирования и строения легированных оксидных пленок на поверхности полупроводников. Тез. докл. Второй Всесоюзной конф. по физике стеклообразных твердых тел. Рига- Лиелупе, 1991, с.220.
10. Борисенко В.Е., Гапоненко Н.В., Милешко Л.П., Синило М.Ф. ИК спектроскопическое исследование сурьмы в эмульсионных оксидных пленках кремния при термообработке. // Ж. прикладной спектроскопии, 1991, т.54, №1, с. 156-159.
11. Gaponenko N.V., Borisenko V.E., Mileshko L.P., Gnaser H., Vasiliev V.V. Spin-on silicon dioxide films on indium antimony. // Thin Sol. Films, 1993, v. 223, p.122-128.
13. Милешко Л.П. Термодинамический анализ реакций образования си-ликатов // Известия Белорусской инженерной академии, 1999, №1(7)/2, с.20-21.
13. Авдеев С.П., Милешко Л.П., Музыков П.Г., ЧередниченкоД.И. Перспективы применения электронно-лучевой обработки для модификации золь-гельных пленок легированного диоксида кремния // ФХОМ, 1998, №2, с.77-83.
14. Сеченов Д.А., Варзарев .Н., Милешко Л.П. Особенности диффузии фосфора из анодной оксидной пленки в условиях быстрой термической обработки // Изв. вузов. Электроника. – 1997. – №5. – С. 48-50.
15. Милешко Л.П., Варзарёв Ю.Н. Кинетические и термодинамические особенности aнодного окисления карбида кремния в электролитах на основе этиленгликоля //ФХОМ. – 2000. – №2. – С. 45-48.
16. Милешко Л.П., Негоденко О.Н., Капустин К.Н. Газочувствительные резисторы на основе анодного оксида меди // Известия вузов. Электроника. – 2001. – №6. – С. 45–47.
17. Милешко Л.П., Варзарев Ю.Н.Анодное окисление пленок Si3N4 на кремнии в боратных и фосфатных электролитах на основе этиленгликоля // ФХОМ. – 2002. – №3. – С. 38-44.
18. Милешко Л.П. Физико-химические и экологические аспекты рационального выбора электролитов для анодного окисления металлов и полупроводников // Известия ТРТУ. Тематический выпуск «Экология 2002 – море и человек». Материалы второй Всероссийской научной конференции с международным участием. – Таганрог: Изд-во ТРТУ. – 2002. – №6(29). – С. 160-163.
19. Гура В.В., Милешко Л.П. Методологические подходы к педагогическому проектированию содержания электронных образовательных ресурсов по технологическим и экологическим дисциплинам // Известия ТРТУ. Тематический выпуск «Экология 2002 – море и человек». Материалы второй Всероссийской научной конференции с международным участием. – Таганрог: Изд-во ТРТУ. – 2002. – №6(29). – С. 194-195.
21. Милешко Л.П. Фундаментальные и прикладные аспекты процессов получения и применения легированных анодных и золь-гельных оксидных пленок // Известия Белорусской инженерной академии. Специальный выпуск. Материалы VIIМеждународной НТК «Современные средства связи». – 2002. – №2(14)/2. – С. 40-41.
22. Милешко Л.П., Авдеев С.П. Формирование эмиттерных и базовых областей n- p-n-транзисторов диффузией фосфора и бора из анодных оксидных пленок кремния // Электронная промышленность. – 2002. – №1. – С. 67-68.
23. Милешко Л.П., Авдеев С.П. Физико-химические основы процессов получения легированных анодных пленок SiO2и диффузии примесей из них в кремний // Известия Белорусской инженерной академии. Специальный выпуск. Материалы VIII Международной НТК «Современные средства связи». – 2003. – №1(15)/4. – С.55-58.
24. Милешко Л.П., Авдеев С.П., Нестюрина Е.Е. Состав, строение и свойства легированных анодных окисных пленок кремния // ФХОМ. – 2003. – №3. – С. 47-52.
25. Милешко Л.П., Авдеев С.П. Диффузия фосфора и бора в кремний из анодных оксидных пленок // ФХОМ. –2003. –№6. – С. 67-72.
26. Милешко Л.П., Авдеев С.П. Применение диффузии бора из анодных оксидных пленок в технологии кремниевых ИС // Электронная промышленность. – 2004. – №1. – С. 61-62.
27. Милешко Л.П. Применение легированных анодных оксидных пленок в технологии кремниевых приборов и интегральных микросхем // Электронная промышленность. – 2004. – №4. – С. 160-161.
28. Милешко Л.П., Королев А.Н., Светличная Л.А. Газочувствительные резисторы на основе золь-гельных пленок легированного диоксида кремния // Известия вузов. Электроника. – 2004. – №2. – С. 45 – 47.
30. Милешко Л.П. Анодное окисление кремния в легирующих электролитах // ФХОМ. – 2004. – №3. – С. 81-92.
31. Милешко Л.П., Авдеев С.П. Влияние процесса анодного окисления кремния на параметры диффузии примесей бора и фосфора из легированных оксидных пленок // Известия вузов. Электроника. – 2004. – №5. – С. 25-32.
32. Милешко Л.П., Варзарев Ю.Н., Авдеев С.П. Особенности распределения электрически активного фосфора в кремнии при диффузии из анодной оксидной пленки в условиях быстрой термической обработки // Известия вузов. Электроника. – 2004. – №6. – С. 90-91.
33. Милешко Л.П. Сквозная экологизация учебных процессов подготовки инженеров конструкторско-технологических специальностей // Известия ТРТУ. Тематический выпуск «Экология 2004 – море и человек». Материалы третьей Всероссийской конференции с международным участием. – Таганрог: Изд-во ТРТУ. – 2004. – №5(40). – С. 244-247.
34. Милешко Л.П., Сакевич О.В. Способы повышения экологической безопасности производства печатных плат // Известия ТРТУ. Тематический выпуск «Экология 2004 – море и человек». Материалы третьей Всероссийской конференции с международным участием. – Таганрог: Изд-во ТРТУ. – 2004. – №5(40). – С. 117-118.
35. Милешко Л.П. Методологические подходы к обучению, формирующему стили мышления, направленного на предотвращение возможности совершения неосознанного или непреднамеренного терроризма с экологическими последствиями. Информационное противодействие угрозам терроризма. Научно- практический журнал, 2004, №2 ,с. 17-20.
36. Милешко Л.П. Формирование n+- слоя на светоприемной стороне кремникона диффузией фосфора из анодной оксидной пленки // Электронная промышленность. – 2006. – №4. – С. 85.
37. Милешко Л.П. Особенности процессов гальваностатического анодирования алюминия, кремния и пленок нитрида кремния // Известия вузов. Электроника. – 2007. – №5. – С. 88-90.
38. Милешко Л.П. Механизмы формирования легированного фосфором или бором анодного SiO2 на карбиде кремния // Известия вузов. Электроника. – 2007. – №2. – С. 10-15.
39. Милешко Л.П. Механизмы электрохимического формирования SiO2из структур Si3N4-Si// Известия вузов. Электроника. – 2007. – №1. – С. 3-11.
40. Милешко Л.П. Особенности кинетики анодного окисления вращающихся кремниевых пластин в легирующих электролитах // Известия вузов. Электроника. – 2007. – №6. – С. 70-71.
41. Милешко Л.П. Влияние режима формирования анодных оксидных пленок в гальваностатическом режиме на содержание в них фосфора // Известия вузов. Электроника. –2008. - № 4, - С. 68-69.
42. Svetlichnaya L.A., Mileshko L.P., Korolev A.N. Structure and composition of Cu2O films produced by anodizing copper foil on fiberglass laminate // Inorganic Materials. – 2008. –Vol. 44. –№ 7. –P. 713–720.
44. Милешко Л.П. Слоистое строение анодных пленок SiO2, легированных фосфором или бором // Известия вузов. Электроника. – 2009. – №1. – С. 12-45. Mileshko L.P. Layered structure of anodic SiO2 films doped with phosphorus or boron // Semiconductors. – 2009. - V.43. - No 13. – 1654-1656.
46. Svetlichnaya L. A., Mileshko L. P. and Korolev A. N. Anodic oxidation of foil copper on fiber-glass plastic in sulfate-chloride electrolyte // Russian Journal of Electrochemistry. – 2009. –Vol. 45, – № 7. – P. 858–861.
47. Алхасов С.С., Милешко Л.П., Целых А.А. Разработка блока обработки информации мультисенсорной системы «электронный язык» для мониторинга концентраций ионов тяжелых металлов в водных средах // Известия ЮФУ. Технические науки. – 2012. - №6. - С. 242-244.
48. Алхасов С.С., Милешко Л.П. Особенности кинетики гальваностатического анодирования кремния в фосфатных и боратных электролитах на основе этиленгликоля // Физика и химия обработки материалов. – 2012. - №6. - С. 51-53.
49. Милешко Л.П. Введение в экологическую безопасность //
Технологии техносферной безопасности: интернет-журнал. – Вып. 1(47). – 28.02. 2013. – 6 с. - http://ipb.mos.ru/ttb
50. Алхасов С.С., Милешко Л.П., Целых А.А. Определение концентраций ионов тяжелых металлов посредством блока обработки данных мультисенсорной системы для мониторинга водных сред // Известия Южного федерального университета. Технические науки. – 2013, т. 141, № 4. – С. 161–168.
Диссертация: «РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОСНОВ ФОРМИРОВАНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ АНОДНЫХ ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ»
биографические данные и фото выдающихся ученых и специалистов России
Код для размещения на сайте:
Предлагаем вашему вниманию журналы, издающиеся в издательстве «Академия Естествознания”
(Высокий импакт-фактор РИНЦ, тематика журналов охватывает все научные направления)
